本工艺是将无水氢氟酸由储槽输送至计量槽后，经粗过滤去除搀杂的不纯物，再由塔节上方入料进入精馏塔，经过精馏别离去除无水氢氟酸中的高、低不同沸点不纯物，并以多套精馏塔串联操作，以到达契合SEMI 国际标准的质量，上述出产设备是选用碳钢/不锈钢衬聚四氟乙烯/四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物资料，出产的根本工艺选用常压、全封闭、接连化，选用热水低温（小于100℃）精馏，精馏得到的氟化氢气体经冷却后，进入有高纯水的稀释槽顶用超纯水吸收稀释，并操控氟化氢入料量到达所需求的浓度含量，随后经0.05um以下超滤工序，终究在密闭洁净环境条件下（Class 1000以下等级）进行灌装得到终究产品高纯氢氟酸。

  无水氟化氢经过负压吸料进入除砷设备，因AHF含有与其沸点较为挨近的AsF3，经过投加高锰酸钾溶液（氧化剂）进行化学预处理，将AsF3氧化成AsF5，AsF5与HF沸点相差较大，能够在后续精馏过程中除掉。

  化学预处理后的物料送至精馏塔中进行精馏，精馏塔以蒸汽加热的热水为热源。无水氢氟酸的气液两相经过逆流触摸，进行相际传热传质，液相中的易蒸发组分进入气相，气相中的难蒸发组分转入液相，在塔顶得到易蒸发组分，塔底得到难蒸发组分。从塔顶引出的轻组分（首要成份为HF）经冷凝器冷凝，冷凝液部分回流至精馏塔内从头精馏别离，部分作为高纯氢氟酸采出。项目采纳多级精馏塔串联操作，氟化氢（AHF）在精馏塔内重复精馏别离，塔底液体作为工业级氢氟酸采出。

  未冷凝的精馏废气（G1-1）进入“二级水洗+一级碱洗”废气处理设备处理后由28m高排气筒排放。

  精馏得到的氟化氢气体冷却后，进入稀释槽内用超纯水进行吸收稀释，经过操控氟化氢入料量到达所需求的浓度含量。稀释期间氟化氢会放出很多热量，稀释的氢氟酸溶液输送至冷却器循环降温。

  吸收槽尾气（G1-2）进入“二级水洗+一级碱洗”废气处理设备处理后由28m高排气筒排放。

  稀释后的氢氟酸溶液泵至过滤器，经0.05um以下超滤工序，去除溶液中的微粒子。

  液氨由储槽输送至再沸器，以热水流经再沸器夹套的加热方法，使液氨气化成气氨，再经过滤器去除杂质，净化后的气氨泵入反响釜。

  液氨气化工段会发生工艺废气（G2-1），首要成分为氨，搜集后进入“二级水洗+一级酸洗”废气处理设备处理后由28m高排气筒排放。

  在氨分子中，氮的电负性比氢大，N-H共价键的电子对倾向氮原子。氨在水中的溶解度极大，它在水溶液中存在下列平衡联系：

  氨在水中构成NH4+，一起游离出OH-，使氨的水溶液呈碱性。椐此，HF离解出的H+和F-能够同NH3·H2O离解出的NH4+和OH-反响生成H2O和NH4F：

  反响吸收工段会发生工艺废气（G2-2），首要成分为氟化氢、氨，搜集后进入“二级水洗+一级酸洗”废气处理设备处理后由28m高排气筒排放。

  稀释后的氢氟酸溶液泵至过滤器，经0.05um以下超滤工序，去除溶液中的微粒子。

  混合槽内按1:1份额投加NH4F与HF，混合反响出产NH4HF2（BHF）。

  得到所需浓度含量的BHF溶液，经过泵输送至过滤器，经0.05um以下超滤工序，去除溶液中的微粒子。

  项目规划超纯水站规划为4m3/h，新增超纯水设备体系1套，原水为新鲜水，选用电子级纯水设备制备，出水满意电子级纯水要求。

  （3）安全过滤：首要是保安器，安稳去除影响膜安全性的杂质，以确保反渗透的正常工作；

  （4）反渗透：脱盐率达90%以上，减轻离子交换柱负荷，进口压力有必要安稳在0.2 MPa；

  （5）混床：深度除盐，要求反洗再生完全彻底，进口压力不大余0.3 MPa；

  （6）精细过滤：去除20μm以上的微粒，滤料小于0.45μm，出水水质小于50个/mL；

  （7）精床：水质契合出水要求，再生液有必要为剖析纯，反洗用纯水，进口压力不大于0.1 MPa；

  （8）超滤：0.2 的精细过滤器，去除10μm以上的微粒，出水水质小于10个/mL。